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鉴定充分肯定了公司的技术研发、制造工艺以及检测能力,公司在科技部02专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”——《磁悬浮分子泵系列产品开发与产业化》重大专项研制成果基础上,成功研制新一代智能化、一体化的磁悬浮分子泵。经过质询和讨论,鉴定很终鉴定意见为:公司研制的磁悬浮分子泵系列产品为国内首台(套),具有自主知识产权,主要性能指标达到水平,取得了显著的经济及社会效益,建议进一步推广应用。
作为中国真空技术者,公司始终以“创新科学仪器,发展企业”为使命,以电子光学和真空技术,打造科学仪器设备及装备制造国家队,在“十四五”规划的新征程,立足新发展阶段、坚持新发展理念、构建新发展格局,为强化国家战略科技力量、实现科技自立自强做出新的贡献。
操作注意事项不能在前级泵工作时(前级管道接通)和真空室处于真空状态时将涡轮分子泵停掉,否则将会使油蒸汽迅速从前级管路返流到泵的清洁端。分子泵系统在停机充干燥气体前,一定要先将分子泵冷却水关闭,且要从泵的高真空端充气。决不能从泵的前级管路进行充气。选择抽气系统前级泵的大小时,应使涡轮分子泵的前级保持在分子流状态下。不能让涡轮分子泵在低于额定工作转速下运转。
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我国是世界很大的半导体消费市场,但产业链整体价值水平较低,尤其是关键材料与设备和零部件方面,存在较大国外品牌依赖。例如,薄膜沉积、刻蚀、离子注入等半导体制造中关键工艺过程部件——磁悬浮分子泵,长期被国外垄断。面对“卡脖子”问题,公司积极响应国家需求,承担科技部《极大规模集成电路制造技术及成套工艺》专项中“磁悬浮分子泵系列产品开发与产业化”项目,多项关键技术,于2011年成功研制国内台磁悬浮分子泵,打破国外产品垄断。
公司研制出新一代系列一体磁悬浮分子泵,以其优越的性能,已广泛应用于工业过程、镀膜等领域,为半导体零部件国产化注入新活力。未来,公司将继续聚焦半导体产业发展需求,全力突破“卡脖子”技术难题,推动半导体设备零部件国产化,为中国集成电路发展持续贡献力量。
现今,越来越多地改用大型涡轮分子泵或低温泵来代替油扩散泵系统,以防止油蒸汽的污染。因此,很近十几年来,涡轮分子泵在国内、外都得到了显著的改进和发展。涡轮分子泵与油扩散泵相比具有启动快,有机蒸汽污染少和极限真空高等特点.因此在氦质谱检漏仪中采用分子泵作为高真空系统,即使检漏仪不用液氮冷阱,质谱室也不致严重沾污,并能保持较低的本底或杂声.这有利于氦质谱检漏仪的灵敏度和稳定性的提高,并且延长离子源的使用寿命.
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氦质谱检漏仪质量范围很宽,不仅可检测氦气,而且能检测其它气体。分子泵排气系统取代扩散泵排气系统,不仅解决了油蒸气对质谱室的污染问题,而且对快速启动仪器和快速停机做出了很大贡献。氦质谱检漏仪中没有手动阀,现已采用自控阀自动调节运转时的误差。
同时用涡轮分子泵取代了油扩散泵,以消除可能造成的油返流。计算机技术也在检漏仪中获得应用。运转、控制和输出数据均由计算机自动操作完成。典型的示波器已由阴端射线管显像屏所代替。整个操作只须按各种按钮自动进行。还可以使用app远程操控检漏仪,进口ULVAC分子泵维修改造,并实时监控检漏仪显示漏率。
无论是用于研发的灵活可靠的系统,还是用于常规工业真空加工的热处理系统,或适合在车间中实时检测泄露的快速耐用的便携解决方案,都可提供相应的解决方案。:氦质谱检漏仪中分子泵与油泵有什么区别?现今,越来越多地改用大型涡轮分子泵或低温泵来代替油扩散泵系统,以防止油蒸汽的污染。因此,很近十几年来,涡轮分子泵在国内、外都得到了显著的改进和发展。
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阳江进口ULVAC分子泵维修改造「在线咨询」由广州潽拓光电科技有限公司提供。广州潽拓光电科技有限公司位于广州市番禺区化龙镇潭山环村公路1-1号。在市场经济的浪潮中拼博和发展,目前潽拓光电在真空泵中享有良好的声誉。潽拓光电取得全网商盟认证,标志着我们的服务和管理水平达到了一个新的高度。潽拓光电全体员工愿与各界有识之士共同发展,共创美好未来。