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鉴定充分肯定了公司的技术研发、制造工艺以及检测能力,公司在科技部02专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”——《磁悬浮分子泵系列产品开发与产业化》重大专项研制成果基础上,成功研制新一代智能化、一体化的磁悬浮分子泵。经过质询和讨论,鉴定很终鉴定意见为:公司研制的磁悬浮分子泵系列产品为国内首台(套),具有自主知识产权,主要性能指标达到水平,取得了显著的经济及社会效益,建议进一步推广应用。
作为中国真空技术者,公司始终以“创新科学仪器,发展企业”为使命,韶关爱发科分子泵维修,以电子光学和真空技术,打造科学仪器设备及装备制造国家队,在“十四五”规划的新征程,立足新发展阶段、坚持新发展理念、构建新发展格局,为强化国家战略科技力量、实现科技自立自强做出新的贡献。
操作注意事项不能在前级泵工作时(前级管道接通)和真空室处于真空状态时将涡轮分子泵停掉,否则将会使油蒸汽迅速从前级管路返流到泵的清洁端。分子泵系统在停机充干燥气体前,一定要先将分子泵冷却水关闭,爱发科分子泵维修升级,且要从泵的高真空端充气。决不能从泵的前级管路进行充气。选择抽气系统前级泵的大小时,应使涡轮分子泵的前级保持在分子流状态下。不能让涡轮分子泵在低于额定工作转速下运转。
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当时现行标准的分子泵不能直接用到圆排机上,因为圆排机的工况,工作过程中灯管不可避免地会产生漏气和破损而产生的压力高、大气流的冲击和碎屑等的情况。鉴于此,由公司专项研制高压强分子泵,由上海涌真机械有限公司实施圆排车制造替换谱拓泵,爱发科分子泵维修养护,把公司研制的分子泵应用在上海正贝照明制造的圆排车上,进行的替代设计制造。
此后,公司成功研制出FF-160/500G分子泵,其技术参数详见表1。表1 FF-160/500G复合分子泵技术参数替换方案此前圆排机上的两套分别为:一台ZJP150谱拓泵和TRP-16一台真空泵和凯尼ZJ150谱拓泵和爱发科VD401真空泵的谱拓真空组。左:普通分子泵;右:高压强分子泵替换方案为:一套由一台KYKY公司的FF160/500G分子泵,前级为北仪优成的TRP-60或TRP-48真空泵,过渡真空室、接管、真空测量系统组成的机组(简称分子泵机组)。
现一台分子泵机组拖7工位,可增至10个工位。原两台拖7工位。表2 工作监控情况及对比数据表实际效果对比分析分子泵机组比抽气速率大,真空度高近一个数量级。而且相较而言,分子泵机组的噪音更小,占地面积更小。在运转费用方面,按一年280天计算,每天24h,全年就是6720h。单位:元
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分流式分子泵应用于氦质检漏仪
涡轮分子泵与油扩散泵相比具有启动快,有机蒸汽污染少和极限真空高等特点.因此在氦质谱检漏仪中采用分子泵作为高真空系统,即使检漏仪不用液氮冷阱,爱发科分子泵维修固件升级,质谱室也不致严重沾污,并能保持较低的本底或杂声.这有利于氦质谱检漏仪的灵敏度和稳定性的提高,并且延长离子源的使用寿命.代理德国分流式分子泵SplitFlow独立机械和真空结构设计,广泛应用于国内,国际
爱发科氦质谱检漏仪生厂商.分流式分子泵客户案例:某国内爱发科检漏仪生产商,选用德国SplitFlow80分子泵集成于氦质谱检漏仪中.
分流式涡轮分子泵SplitFlow优点
紧凑设计,占地空间小
对所有气体的高抽吸能力和极高压缩比
集成分子泵控制器
防护类型IP54适合于工业用途
准S2和UL/CSA认证
运行数据监控保证分子泵运行安全性
涡轮分子泵应用于超高真空互联装置涡轮分子泵应用于超高真空互联装置
超高真空互联系统一般是通过RDC传样装置将不同的超高真空腔体连接起来,例如:快速进样室,样品生长腔,衬底制备腔,电子结构分析腔等,传样过程中保证超高真空量级的真空增量,超高真空互联系统很多可以连接8个腔体左右,极限真空好于1E-10mbar!
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爱发科分子泵维修固件升级-广州潽拓光电公司由广州潽拓光电科技有限公司提供。“分子泵控制器,真空分子泵,AE电源,真空油泵,真空系统”选择广州潽拓光电科技有限公司,公司位于:广州市番禺区化龙镇潭山环村公路1-1号,多年来,潽拓光电坚持为客户提供好的服务,联系人:邹先生。欢迎广大新老客户来电,来函,亲临指导,洽谈业务。潽拓光电期待成为您的长期合作伙伴!