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真空检漏的实际意义？答：真空系统软件的限真空决策于系统软件的抽速和漏汽量，故在抽速一定时，漏气量就选择了真空度，欲使系统软件实现设定的限真空，务必根据检漏和补漏使体系的漏汽量操纵在容许漏率范畴内。
从基本原理上讲，真空检漏可分成哪两类？答：可以分成：1）工作压力检漏法，包含①打气检漏法，②卤素灯泡检漏法，③氨检漏法。2）真空检漏法，包含①高频率火苗检漏法，②真空计检漏法，③质谱仪检漏法。
概述真空泵的抽真空基本原理。答：1）利用缩小功效将汽体清除到泵外。a.机械设备周期时间式胀大缩小，b.蒸气流黏滞牵引带缩小，c.刚度表层的牵引带缩小。2）利用吸咐功效将汽体拘束于泵内。a.利用水解呼吸功效，b.利用物理学吸咐和有机化学吸咐功效。
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不同测量范围的加热电流也有差异。因此，在使用热偶计时，应按不同的量程确定规管的加热电流。①10～10-1Pa量程：规管须垂直倒置，在真空度优于10-2Pa时调定加热电流(此时热电势为10mV，即满刻度)，其加热电流可调节范围为95～150mA。②102～10Pa量程：规管须垂直倒置，在0.1MPa时调定加热电流，其加热电流可调节范围为175～300mA或以上。
热偶计规管的结构较电阻式规管复杂一些，但p-E校准曲线受外界温度的影响较小。 MEMS传感器具有小型化、低成本、、易与CMOS集成电路兼容等特点。在不同类型的MEMS传感器中， 很普遍、应用 很广泛的是压阻式和电容式传感器。与压阻式传感器相比，电容式传感器具有灵敏度高、温度系数低、功耗低等优点。
MEMS电容薄膜真空计作为MEMS电容式传感器的一种，能够满足深空探测、空气动力学研究、临近空间探索等领域对真空测量仪器测量准确度高、体积小、质量轻、功耗低的应用需求，具有广泛的应用前景。MEMS电容薄膜真空计包含真空规管和测量电路两个部分。其中，真空规管将真空度转化成电容量，测量电路对电容量进行处理得到真空度的值。MEMS电容薄膜真空规管初始电容量的范围为几到几十皮法，其电容变化量为几飞法甚至更小。
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其稳固的工业产品设计可以合理抵挡机械设备负载。并保证稳定的图象处理，照相机装有4路带脉冲宽度调制作用的光电耦合器輸出，功率达到120W（大48V/25A），因而不用外界控制板便可同时操纵灯源，照相机还能够选装已获的维护防水套管系统软件。防水等级可达IP65或IP67，不用一切外界保护罩，依靠根据IEEE1588规范的時间协议书（PTP）。
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