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没有单设粗抽管路的涡轮分子泵系统的操作：先打开分子泵冷却系统和前级管路阀，并同时启动前级（粗抽）机械泵和涡轮分子泵。如果粗抽泵（前级泵）选择得当，使真空室的粗抽时间等于分子泵的加速（启动）时间，则真空系统就能在没有泵油蒸汽返流的情况下把真空室抽到其本底压力。
该系统在停机前，要先关闭前级管路阀，然后切断分子泵电源和关闭冷却水。等分子泵转速下降到额定工作转速的一半时，再在泵的入口处充入干燥气体，当系统充到大气压力后，应关闭放气阀门。根据需要在前级阀关闭后的任何时候停掉前级泵系统。
涡轮分子泵应用于脉冲激光沉积系统PLD涡轮分子泵应用于脉冲激光沉积系统PLD
脉冲激光沉积PulsedLaserDeition，PLD，是一种利用激光对物体进行轰击，然后将轰击出来的物质沉淀在不同的衬底上，得到沉淀或者薄膜的一种手段.PLD系统由多个真空腔体组成，整个系统需要超高真空且不能引入任何杂质，对环境的清洁度要求较高，必须配备无油干泵和分子泵抽真空.由于各个辅助腔体体积较小，因此特别适合使用Hicube系列分子泵组.分子泵组因其结构紧凑体积小，爱发科真空泵有油R-4联系方式，清洁无油（前级泵配备干泵)，抽速快，极限真空度高达10-11mbar等优点广泛应用于此设备.
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分子泵转速对氦质谱检漏仪的灵敏度有什么影响？
今天，小编将向大家介绍分子泵转速对氦质谱检漏仪的灵敏度有什么影响，希望对大家有所帮助。分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种泵。分子泵是获得高和超高的关键设备之一。
它被广泛应用于电子工业、表面工程、核能工业、等离子体技术、薄膜工程等工业领域和研究部门。它操作简单、启动时间短，在分子流区域内对各种气体的有效抽速几乎不变，对分子量高的气体压缩比高，可以获得清洁无油的高和超高环境。
分子泵是氦质谱检漏仪中获得高重要部位，是氦质谱检漏仪中不可或缺关键部件，分子泵性能直接影响检漏仪性能参数的好坏，分子泵的发展直接影响着氦质谱检漏技术。逆扩散型的检漏仪的检漏口是连接到高泵与低泵之间，所以被检试件的可检漏压力就是高真泵的前级耐压。如果试件压力超过这个压力，将使高泵不能正常工作。普通涡轮分子泵的前级耐压，一般不超过50Pa，远达不到高压检漏的要求。
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我国是世界很大的半导体消费市场，但产业链整体价值水平较低，尤其是关键材料与设备和零部件方面，存在较大国外品牌依赖。例如，薄膜沉积、刻蚀、离子注入等半导体制造中关键工艺过程部件——磁悬浮分子泵，梅州爱发科真空泵有油，长期被国外垄断。面对“卡脖子”问题，公司积极响应国家需求，承担科技部《极大规模集成电路制造技术及成套工艺》专项中“磁悬浮分子泵系列产品开发与产业化”项目，多项关键技术，于2011年成功研制国内台磁悬浮分子泵，爱发科真空泵有油R7500出售，打破国外产品垄断。
公司研制出新一代系列一体磁悬浮分子泵，以其优越的性能，已广泛应用于工业过程、镀膜等领域，为半导体零部件国产化注入新活力。未来，公司将继续聚焦半导体产业发展需求，全力突破“卡脖子”技术难题，推动半导体设备零部件国产化，为中国集成电路发展持续贡献力量。
现今，爱发科真空泵有油R-7供应，越来越多地改用大型涡轮分子泵或低温泵来代替油扩散泵系统，以防止油蒸汽的污染。因此，很近十几年来，涡轮分子泵在国内、外都得到了显著的改进和发展。涡轮分子泵与油扩散泵相比具有启动快，有机蒸汽污染少和极限真空高等特点.因此在氦质谱检漏仪中采用分子泵作为高真空系统，即使检漏仪不用液氮冷阱，质谱室也不致严重沾污，并能保持较低的本底或杂声.这有利于氦质谱检漏仪的灵敏度和稳定性的提高，并且延长离子源的使用寿命.
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