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inficon传感器及电容-数字信号转换电路原理图测量时，首先由开关电容放大器将电容转换为电压，然后由一个自振荡噪声积分双斜率转换器将电压信号转换为数字信号。在前级模拟电路中，COffset和CGain为可编程电容，可以调剂电桥的输出信号同时补偿电桥的偏移，该特征可以使电路处理相同inficon设备的不同信号或有相同激励信号的不同的inficon器件。
自振荡噪声积分双斜率转换器使用时间而不是幅度分辨率来产生多位数字输出信号，结构简单，能有效消除偏移及闪烁噪声，实现高精度的测量。如图8所示，电路采用0.13umCMOS技术制作成集成芯片，有效面积约为0.317平方毫米，功率消耗约为0.2mW。测量结果表明，电路可以在-40～80℃温度范围内正常工作，电容分辨率可达到7aF，压力分辨率可达到1Pa。
英福康真空计保养
图8inficon传感器与电容-数字信号转换器芯片封装图3.静电力平衡结构微电容测量和普通inficon电容式传感器相比，静电力平衡电容式传感器采用闭环工作方式，利用力平衡反馈回路产生静电力来平衡传感器中的感压薄膜或质量块。静电力平衡技术在inficon加速度计、陀螺仪等传感器中应用广泛，在inficon电容压力传感器中处于发展阶段。
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inficon温控仪特别适合采集快速移动物体的图像。此外。新机型还提供出众的低噪声图像质量，即便在恶劣的环境下也能实现可靠的图像分析，例如弱光条件下的室内运动分析，新款LXT万兆网接口相机非常适合对高分辨率、高速图像采集质量有严格要求的检测应用。
其坚固的工业设计能够有效抵御机械载荷。并确保可靠的图像处理，相机配有4路带脉宽调制功能的光耦输出，输出功率高达120W（大48V/25A），因此无需外部控制器便可直接控制光源，相机还可以选配已获的保护套管系统。防护等级可达IP65或IP67，无需任何外部防护罩，借助基于IEEE1588标准的时间协议（PTP）。
多路转换器
2021年4月27日，inficon真空系列总压测量真空计再添新型号，英福康真空计保养咨询来电，采用数字信号输出，萝岗区英福康真空计保养，为准确并安全的数据传输保驾护航。20多年来，inficon真空凭借数字式总压测量真空计为总压测量提供全套方案，此款型号通过模块化设计可以适应任何工业真空应用，英福康真空计保养咨询，它所配备的真空规也易于安装，能够进行可靠的总压测量。
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▲DL-10A谐振阻抗测量电路
近似地谐振阻抗Z为：Z=R×VAE/VDE。其中VAE是AE两点间的电压，VDE是DE两点间的电压。测量了阻抗，由阻抗与气体压强的关系曲线，便可知道气体的压强。例如，DL-10A型石英真空计采用FC135晶振做传感器，其阻抗与压强的关系如下所示：▲FC135晶振谐振阻抗与压强的关系
图中纵坐标△Z是谐振阻抗Z与固有阻抗Z0之差。固有阻抗是压强远小于下限即小于10-3Pa的阻抗。横坐标是压强，由图可见，在压强小于100Pa，△Z与P近似成线性关系。在104-105Pa之间，△Z与P的开方成正比。我们将上述曲线存在单片机中，测量△Z值，由数码管显示对应的压强值，这就是石英真空计的工作原理。
DL-10A设置一个零点调节按键，当压强小于10-3Pa时，按一下该按键，单片机执行中断程序，将此时的Z值存在单片机的EEPROM中。DL-10A还设置一个大气调节按键，当传感器暴露在大气时，按一下该按键，单片机执行另一中断程序，将此时的Z值存在单片机的另一EEPROM中。当仪器长时间不用或环境温度变化较大时，应进行零点调节及大气调节。
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