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在正常工作时,可把水温调节到略高于来消除泵体外部可能形成的冷凝物。
启动系统要先接通冷却水流,打开前级管道阀门,再同时启动机械泵和涡轮分子泵。在泵加速到额定转速(一般为5到10min)后,爱发科真空泵保养费用,就可加注液氮冷阱。此后就可按上节所介绍的步骤对真空室进行抽气。所给出的不用高真空阀门的抽气系统的操作,爱发科真空泵维修多少钱,要比有阀门的抽气系统简便得多。操作时,先打开冷却水和前级管道阀,并同时启动机械泵和涡轮分子泵。如粗抽泵选择得当,使真空室的粗抽时间等于加速时间,那么真空系统就能在没有泵油蒸气返流的情况下把真空室抽到其本底压力。
1-检漏接口阀;2-涡轮分子泵;3-放气阀;4-电离规;5-热传导规;6-真空管路阀;7-电磁放气阀;8-机械泵。图2 不用阀门的涡轮分子泵抽气系统无阀门系统在放气和停机时,首先关闭前级管道阀,等泵转速下降到很大转速的50%时再在泵的上方充入干燥气体。当系统充到大气压时应关闭放气阀门,否则会造成真空室过压。然后按上述介绍的方法关掉机械泵并停掉冷却水。
没有单设粗抽管路的涡轮分子泵系统的操作:先打开分子泵冷却系统和前级管路阀,并同时启动前级(粗抽)机械泵和涡轮分子泵。如果粗抽泵(前级泵)选择得当,使真空室的粗抽时间等于分子泵的加速(启动)时间,则真空系统就能在没有泵油蒸汽返流的情况下把真空室抽到其本底压力。
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分子真空泵是在 1911 年由德国人盖德 首先发明的,并阐述了分子泵的抽气理论,分子泵,爱发科真空泵咨询热线,使机械真空泵在抽气机理上有了新的突破。 分子泵的抽气机理与容积式机械泵靠泵腔容积变化进行抽气的机理不同,分子泵是在分子流区域内靠高速运动的刚体表面传递给气体分子以动量,使气体分子在刚体表面的运动方向上产生定向流动,从而达到抽气的目的。
通常把用高速运动的刚体表面携带气体分子,并使其按一定方向运动的现象称为分子牵引现象。因此,人们将盖德发明的分子泵称为牵引分子泵。分子泵公司主要提供各品牌分子泵电源,真空计,真空显示器,氦气检测仪,质谱仪的维修、保养、销售等服务。分子泵分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使之获得定向速度,从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。
这种泵具体可分为: (1)牵引分子泵气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量,被驱送到泵的出口。
(2)涡轮分子泵 靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的。这种泵通常在分子流状态下工作。
(3)复合分子泵它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合型的分子真空泵。
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分子束外延MBE是一种晶体生长技术,首先将待成长的芯片放置在超高真空腔体中(~10-10Torr),和将需要生长的单晶物质按元素的不同分别放在喷射炉中,当炉温升至一定温度时,炉中的材料会以原子束或分子束的形式蒸发出来,此时基板也被加热至一适当的温度,分子束射至基板时,惠州爱发科真空泵,就会与基板表面的原子结合而生长出极薄的,可薄至单原子层水平,单晶体和几种物质交替的超晶格结构.
描隧道显微镜STM是根据力学中的隧道效应原理,通过探测固体表面原子中电子的隧道电流来分辨固体表面形貌的新型显微装置.用客户案例:某大学自主搭建分子束外延与扫描隧道显微镜系统,经过爱发科推荐,采用分子泵和涡轮分子泵80并搭配美国HVA真空闸阀成功分析生长晶体表面结构。
涡轮分子泵抽速范围10至2700L/S,转速很高90,000rpm,极限真空很大1E-11mbar,对小分子气体具有更高的压缩比,实践证明涡轮分子泵运行时间可以达到100,000小时!分子泵提供复合轴承分子泵和五轴全磁浮分子泵二大系列满足不同应用,推荐搭配旋片泵和干泵共同使用.
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