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分子泵是氦质谱检漏仪中获得高真空重要部，是氦质谱检漏仪中不可或缺关键部件，分子泵性能直接影响检漏仪性能参数的好坏，分子泵的发展直接影响着氦质谱检漏技术。本文重点讨论分子泵转速对氦质谱检漏的影响。2、逆扩散型检漏仪逆扩散型的检漏仪的检漏口是连接到高真空泵与低真空泵之间，所以被检试件的可检漏压力就是高真泵的前级耐压。如果试件压力超过这个压力，将使高真空泵不能正常工作。普通涡轮分子泵的前级耐压，一般不超过50Pa，远达不到高压检漏的要求。
1980年国际上出现一种称之为“复合型”的分子泵，现今，其前级耐压很高已达2000Pa。这种泵用作氦质谱检漏仪的高真空泵，可直接实现在高的试件压力下的检漏。用复合分子泵构成的一种可实现高压强下的检漏仪，爱发科真空泵有油R-7联系方式，其工作过程如下。当被检试件抽至1500Pa，V1开，氨气逆扩散穿越整个分子泵进入质谱室，实现仪器的逆扩散检漏。
若能进一步将试件抽至200Pa以下，则V2关闭，V3打开，从泵的中间口逆扩散至质谱室，若能进一步将试件抽至40Pa以下，则V3关闭，V4打开，氦气从泵的上部逆扩散进入质谱室，或直接进入质谱室(常规检漏）。这种从高压检大漏到实现检微漏的全自动过程，一气呵成，不仅，也便于漏率的定量，由于每个状态下的阀门流导和泵的压缩比等参数都是固定不变的，仪器只需1次校准即可。
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分子泵常见的故障问题：
1、分子泵为何会发生半边热，半边冷的现象？
2、分子泵使用中发现油发黑，请问油为什么会发黑？或者多长时间油才会变黑？
3、分子泵在运转过程中，出现频率从正常下降至一定频率后又恢复到正常，之后又下降至一定频率，再恢复到正常，反反复复，更换电源后现象仍如此，请问该现象如何解释？
4、分子泵轴承为什么会烧毁
5、有防护网保护，为什么还会有大块碎玻璃掉入泵内？
6、真空度很好的情况下，分子泵油为何会返到前级管道？
7、正常使用下，为什么分子泵油池会出现裂纹或者变形？
8、分子泵中经常掉出顶丝、镙钉等物体，如M5的顶丝等，请问是否对分子泵的使用有影响？应如何解决？
9、胶圈口分子泵要用多少卡钳，怎么使用才安全？
10、变频器电源在什么情况下会造成程序丢失或者错乱？
11、分子泵噪音大如何界定？是否有合格标准，是多少？
12、分子泵是否对冷却有明确要求？如果风冷需要外界温度是多少？如水冷则对水有何具体要求？如未达到要求会出现什么后果？
13、分子泵电源存在接地、屏蔽等问题，应如何做才是很佳方式？
14、变频器电源，转速上升过程中就自动关机，即显示“Poff”？
15、分子泵叶片破碎的原因？
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典型涡轮分子泵抽气系统涡轮分子泵抽气系统一般不需要用常见的液氮冷阱来阻止轴承润滑油或机械泵泵液的返流只要泵是以额定角速度旋转，那么泵对除很轻的气体氢以外的所有气体都具有比较高的压缩比，足以阻止这些气体从前级管道端返流到高真空端液氮冷却的表面不能捕集因压缩比低而返流到真空室的少量的氢液氮冷阱可用来提高系统对水蒸气的抽速，
其很好的安装位置是在高真空阀的后面，也就是直接设置在涡轮分子泵的喉部上方还可以考虑在高真空阀后面装一个三通管，把涡轮分子泵接在它的一个接口上，而把液氮冷却的表面接在另一个接口上而三通的任何两个接口之间的流导都要小于液氮冷阱的通导然而要使分子泵对水蒸气和空气都具有很大抽速，很佳的安排还是将液氮冷阱安装在涡轮分子泵和高真空阀门之间。
涡轮分子泵抽气系统既不需要用粗抽阱也不需要用前级管道冷阱粗抽与主抽系统之间较高的切换压力能防止机械泵油通过粗抽管道迁移到真空室中去，而泵对碳氢化物馏分的高压缩比也阻止它们从前级管道通过泵反扩散到真空室中去。
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深圳爱发科真空泵有油R-7联系方式服务周到「多图」由广州潽拓光电科技有限公司提供。广州潽拓光电科技有限公司位于广州市番禺区化龙镇潭山环村公路1-1号。在市场经济的浪潮中拼博和发展，目前潽拓光电在真空泵中享有良好的声誉。潽拓光电取得全网商盟认证，标志着我们的服务和管理水平达到了一个新的高度。潽拓光电全体员工愿与各界有识之士共同发展，共创美好未来。
