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我国是世界很大的半导体消费市场，但产业链整体价值水平较低，尤其是关键材料与设备和零部件方面，存在较大国外品牌依赖。例如，薄膜沉积、刻蚀、离子注入等半导体制造中关键工艺过程部件——磁悬浮分子泵，长期被国外垄断。面对“卡脖子”问题，公司积极响应国家需求，承担科技部《极大规模集成电路制造技术及成套工艺》专项中“磁悬浮分子泵系列产品开发与产业化”项目，多项关键技术，于2011年成功研制国内台磁悬浮分子泵，打破国外产品垄断。
公司研制出新一代系列一体磁悬浮分子泵，以其优越的性能，已广泛应用于工业过程、镀膜等领域，为半导体零部件国产化注入新活力。未来，公司将继续聚焦半导体产业发展需求，全力突破“卡脖子”技术难题，推动半导体设备零部件国产化，为中国集成电路发展持续贡献力量。
现今，越来越多地改用大型涡轮分子泵或低温泵来代替油扩散泵系统，以防止油蒸汽的污染。因此，很近十几年来，涡轮分子泵在国内、外都得到了显著的改进和发展。涡轮分子泵与油扩散泵相比具有启动快，有机蒸汽污染少和极限真空高等特点.因此在氦质谱检漏仪中采用分子泵作为高真空系统，即使检漏仪不用液氮冷阱，爱发科涡轮分子泵维修报价，质谱室也不致严重沾污，并能保持较低的本底或杂声.这有利于氦质谱检漏仪的灵敏度和稳定性的提高，并且延长离子源的使用寿命.
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分子泵是氦质谱检漏仪中获得高真空重要部，是氦质谱检漏仪中不可或缺关键部件，分子泵性能直接影响检漏仪性能参数的好坏，分子泵的发展直接影响着氦质谱检漏技术。本文重点讨论分子泵转速对氦质谱检漏的影响。2、逆扩散型检漏仪逆扩散型的检漏仪的检漏口是连接到高真空泵与低真空泵之间，所以被检试件的可检漏压力就是高真泵的前级耐压。如果试件压力超过这个压力，将使高真空泵不能正常工作。普通涡轮分子泵的前级耐压，一般不超过50Pa，远达不到高压检漏的要求。
1980年国际上出现一种称之为“复合型”的分子泵，现今，其前级耐压很高已达2000Pa。这种泵用作氦质谱检漏仪的高真空泵，可直接实现在高的试件压力下的检漏。用复合分子泵构成的一种可实现高压强下的检漏仪，其工作过程如下。当被检试件抽至1500Pa，V1开，氨气逆扩散穿越整个分子泵进入质谱室，实现仪器的逆扩散检漏。
若能进一步将试件抽至200Pa以下，则V2关闭，V3打开，从泵的中间口逆扩散至质谱室，若能进一步将试件抽至40Pa以下，则V3关闭，V4打开，氦气从泵的上部逆扩散进入质谱室，或直接进入质谱室(常规检漏）。这种从高压检大漏到实现检微漏的全自动过程，一气呵成，不仅，也便于漏率的定量，由于每个状态下的阀门流导和泵的压缩比等参数都是固定不变的，仪器只需1次校准即可。
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分流式分子泵应用于氦质检漏仪
涡轮分子泵与油扩散泵相比具有启动快，有机蒸汽污染少和极限真空高等特点.因此在氦质谱检漏仪中采用分子泵作为高真空系统，即使检漏仪不用液氮冷阱，质谱室也不致严重沾污，并能保持较低的本底或杂声.这有利于氦质谱检漏仪的灵敏度和稳定性的提高，并且延长离子源的使用寿命.代理德国分流式分子泵SplitFlow独立机械和真空结构设计，广泛应用于国内，国际
爱发科氦质谱检漏仪生厂商.分流式分子泵客户案例:某国内爱发科检漏仪生产商，选用德国SplitFlow80分子泵集成于氦质谱检漏仪中.
分流式涡轮分子泵SplitFlow优点
紧凑设计，占地空间小
对所有气体的高抽吸能力和极高压缩比
集成分子泵控制器
防护类型IP54适合于工业用途
准S2和UL/CSA认证
运行数据监控保证分子泵运行安全性
涡轮分子泵应用于超高真空互联装置涡轮分子泵应用于超高真空互联装置
超高真空互联系统一般是通过RDC传样装置将不同的超高真空腔体连接起来，例如:快速进样室，样品生长腔，衬底制备腔，电子结构分析腔等，传样过程中保证超高真空量级的真空增量，超高真空互联系统很多可以连接8个腔体左右，极限真空好于1E-10mbar！
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广州市爱发科涡轮分子泵维修报价来电咨询-潽拓光电由广州潽拓光电科技有限公司提供。广州潽拓光电科技有限公司是广东 广州 ,真空泵的见证者，多年来，公司贯彻执行科学管理、创新发展、诚实守信的方针，满足客户需求。在潽拓光电领导携全体员工热情欢迎各界人士垂询洽谈，共创潽拓光电更加美好的未来。
